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硅烷气体 SiH4 6N 高纯度99.9999% 电子级
电子级4N乙硅烷(Disilane)Si2H6
一氯三氢硅 SiH3Cl(又名一氯氢硅、一氯硅烷)
二氯二氢硅SiH2Cl2(又名二氯氢硅、二氯硅烷)
三氯氢硅SiHCl3(又名三氯硅烷)
三氯化硼 BCl3 Boron trichloride
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