二氯二氢硅SiH2Cl2（又名二氯氢硅、二氯硅烷）

产品名称 二氯二氢硅（Dichlorosilane） SiH 2Cl 2
别名 二氯硅烷、二氯甲硅烷
CAS号 4109-96-0
危险品运输编号 UN 2189 2.3
风险术语 极度易燃、遇水反应、吸入剧毒
爆炸范围 4.1% - 99%

安全警告：二氯二氢硅是极度易燃性气体，操作时必须配备专业保护措施

二氯二氢硅（DCS）产品标准
项目 检测项目
Item 		单位
Unit 		指标
Indicator 		分析方法
Method
组
分
要
求 		SiH 2Cl 2 Vol% ≥99.99 —
STC ppm (v/v) ≤25 GC
TCS ppm (v/v) ≤10 GC
MCS+HCl ppm (v/v) ≤50 GC
N 2 ppm (v/v) ≤1 GC
O 2 + Ar ppm (v/v) ≤1 GC
CO ppm (v/v) ≤1 GC
H 2 ppm (v/v) ≤10 GC
CO 2 ppm (v/v) ≤1 FT-IR
CH 4 ppm (v/v) ≤1 GC-ICPMS
金
属
离
子 		硼(B)+铝(Al) ppb ≤0.10 ICP-MS
磷(P)+砷(As) ppb ≤0.30 ICP-MS
铁(Fe) ppb ≤5.00 ICP-MS
钠(Na) ppb ≤0.20 ICP-MS
铜(Cu) ppb ≤0.20 ICP-MS
注：其余金属离子（Ga, Sb, In, Ca, Cr, K, Ni, Mo, Mn, Cd, Co, Zn）指标见详细手册。
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