| 三氯氢硅（SiHCl 3）品质标准 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 项目 |
检测项目 Item |
单位 Unit |
指标 Indicator |
分析方法 Analytic Method |
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组 分 要 求 |
SiHCl 3 | Vol% | ≥99.5 | — |
| DCS (二氯硅烷) | Vol% | ≤0.20 | GC | |
| STC (四氯化硅) | Vol% | ≤0.20 | GC | |
| 氯硅烷聚合物 | Vol% | ≤0.10 | GC | |
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金 属 离 子 检 测 要 求 |
铝（Al） | ppb | ≤100 | ICPOES |
| 磷（P） | ppb | ≤30 | ICPOES | |
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铁（Fe）+ 铬（Cr）+ 铜（Cu）+ 锌（Zn） |
ppb | ≤300 | ICPOES | |
| 硼（B）+ 镓（Ga）+ 铟（In） | ppb | ≤100 | ICPOES | |
