硅烷气体 SiH4 6N 高纯度99.9999% 电子级
| 产品名称 | 硅烷（Silane） SiH 4 |
| 别名 | 甲硅烷、甲矽烷、矽烷、单硅烷、硅甲烷 |
| CAS号 | 7803-62-5 |
| 危险品运输编号 | UN 2203 2.1 |
| 风险术语 | 遇空气自燃、极易爆炸、吸入有害 |
| 爆炸范围 | 0.8% - 98% |
安全警告：硅烷是自燃性气体，操作时必须配备专业保护措施
| 兴泰硅材 —— 6N硅烷产品标准 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 项目 |
检测项目 Item |
单位 Unit |
指标 Indicator |
分析方法 Method |
| 组分要求 | SiH4 | Vol% | ≥99.9999 | — |
| H2 | ppm | ＜20.0 | GC | |
| O2 + Ar | ppm | ＜0.05 | GC | |
| N2 | ppm | ＜0.5 | GC | |
| CH4 | ppm | ＜0.05 | GC | |
| C2~C4 | ppm | ＜0.1 | GC | |
| CO | ppm | ＜0.05 | GC | |
| CO2 | ppm | ＜0.05 | GC | |
|
氯硅烷 (SiH2Cl2,etc) |
ppm | ＜0.1 | GC | |
| Si2H6 | ppm | ＜0.3 | GC | |
| H2O | ppm | ＜0.5 | Electrolysis | |
| 金属离子 | 铝 (Al) | ppb | ＜0.2 | ICPMS |
| 锑 (Sb) | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 砷 (As) | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 硼 (B) | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 镓 (Ga) | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 磷 (P) | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
|
Cr+Cu+Fe+ Ni+Zn |
ppb | ＜1.0 | ICPMS | |
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