三氯化硼 BCl3 Boron trichloride

6N三氯化硼BCl3，具体规格预计3月份公布

6N 电子级三氯化硼 (BCl 3) 的主要应用

超高纯度 三氯化硼 (BCl 3) 是半导体制造工艺中不可或缺的关键电子特气。我们提供的 6N (99.9999%) 级别产品，专为满足纳米级集成电路对极低杂质含量的严苛要求而设计，能有效提升晶圆良率。

BCl 3 是铝 (Al) 及其合金互连线干法刻蚀工艺中的主要气体。

作为高纯度的硼源，用于半导体制造的热扩散掺杂工艺。

在化学气相沉积 (CVD) 及设备维护中具有多重用途。

山东兴泰硅材 (XTSiM) 品质承诺： 我们的 6N BCl 3 严格控制金属离子杂质至 ppb 级别，完全符合国际主流 IDM 及晶圆代工厂的严苛标准。

我们为高纯三氯化硼提供高标准的钢瓶包装，确保产品在半导体刻蚀、光伏制造及化学气相沉积（CVD）工艺中的纯度与安全性。所有容器均符合国际运输安全标准。

特点: 典型的工业与半导体级标准包装，充装量50kg。设计稳固，配备高精密阀门，适合各类中大规模电子级应用场景。

产品	容器名称	容器尺寸	BCl3 充装量	容器材质	阀门型号
三氯化硼	L瓶	DOT-47L	50kg	37Mn / 4130x	CGA660 / DISS660