二氯二氢硅SiH2Cl2（又名二氯氢硅、二氯硅烷）

二氯二氢硅（DCS）产品标准
项目	检测项目 Item	单位 Unit	指标 Indicator	分析方法 Method
组分要求	SiH ₂Cl ₂	Vol%	≥99.99	—
	STC	ppm (v/v)	≤25	GC
	TCS	ppm (v/v)	≤10	GC
	MCS+HCl	ppm (v/v)	≤50	GC
	N ₂	ppm (v/v)	≤1	GC
	O ₂ + Ar	ppm (v/v)	≤1	GC
	CO	ppm (v/v)	≤1	GC
	H ₂	ppm (v/v)	≤10	GC
	CO ₂	ppm (v/v)	≤1	FT-IR
	CH ₄	ppm (v/v)	≤1	GC-ICPMS
金属离子	硼(B)+铝(Al)	ppb	≤0.10	ICP-MS
	磷(P)+砷(As)	ppb	≤0.30	ICP-MS
	铁(Fe)	ppb	≤5.00	ICP-MS
	钠(Na)	ppb	≤0.20	ICP-MS
	铜(Cu)	ppb	≤0.20	ICP-MS
	注：其余金属离子（Ga, Sb, In, Ca, Cr, K, Ni, Mo, Mn, Cd, Co, Zn）指标见详细手册。

产品	容器名称	容器尺寸	充装量	容器材质	阀门型号
二氯二氢硅	L瓶	DOT-40L	35kg	316	CGA/DISS636
二氯二氢硅	450L	DOT-450L	400kg	316	CGA/DISS636

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