| 项目 | 检测项目 (Item) | 单位 (Unit) | 指标 (Indicator) | 分析方法 (Analytic Method) |
|---|---|---|---|---|
| 组分要求 | SiHCl₃ | Vol% | ≥99.5 | — |
| DCS (二氯硅烷) | Vol% | ≤0.20 | GC | |
| STC (四氯化硅) | Vol% | ≤0.20 | GC | |
| 氯硅烷聚合物 | Vol% | ≤0.10 | GC | |
| 金属离子检测要求 | 铝（Al） | ppb | ≤100 | ICPOES |
| 磷（P） | ppb | ≤30 | ICPOES | |
| 铁（Fe）+铬（Cr）+铜（Cu）+锌（Zn） | ppb | ≤300 | ICPOES | |
| 硼（B）+镓（Ga）+铟（In） | ppb | ≤100 | ICPOES |