兴泰硅材——乙硅烷（Si
2H
6）产品标准
|
项目
|
检测项目 (Item)
|
单位 (Unit)
|
指标 (Indicator)
|
分析方法 (Analytic Method)
|
|
Si
2H
6
|
Vol%
|
≥99.998
|
—
|
|
O
2 + Ar
|
ppm（v/v）
|
＜0.6
|
GC
|
|
N
2
|
ppm（v/v）
|
＜0.8
|
GC
|
|
H
2
|
ppm（v/v）
|
＜200
|
GC
|
|
CO
|
ppm（v/v）
|
＜1.0
|
GC
|
|
CO
2
|
ppm（v/v）
|
＜0.6
|
GC
|
|
CH
4
|
ppm（v/v）
|
＜2.1
|
GC
|
|
H
2O
|
ppm（v/v）
|
＜2.1
|
GC
|
|
Si
3H
8
|
ppm（v/v）
|
＜50
|
GC
|
|
Si
4H
10
|
ppm（v/v）
|
＜50
|
GC
|
|
SiH
4
|
ppm（v/v）
|
＜500
|
GC
|
|
硅氧烷
|
ppm（v/v）
|
＜1
|
GC
|
|
氯硅烷
|
ppm（v/v）
|
＜0.2
|
GC
|
|
钠(Na)
|
ppb
|
＜5
|
ICPMS
|
|
铁(Fe)
|
ppb
|
＜9
|
ICPMS
|
|
钾(K)
|
ppb
|
＜20
|
ICPMS
|
|
钙(Ca)
|
ppb
|
＜6
|
ICPMS
|
|
铝(Al)
|
ppb
|
＜3
|
ICPMS
|
|
镍(Ni)
|
ppb
|
＜5
|
ICPMS
|
|
锌(Zn)
|
ppb
|
＜5
|
ICPMS
|
|
硼(B)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
钴(Co)
|
ppb
|
＜10
|
ICPMS
|
|
铬(Cr)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
铜(Cu)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
镁(Mg)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
锰(Mn)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
磷(P)
|
ppb
|
＜8
|
ICPMS
|
|
钛(Ti)
|
ppb
|
≤10
|
ICPMS
|