| 项目 | 检测项目 (Item) | 单位 (Unit) | 指标 (Indicator) | 分析方法 (Analytic Method) |
|---|---|---|---|---|
| 组分要求 | SiH 3Cl | Vol% | ≥99.9 | GC |
| DCS | Vol% | ≤0.05 | GC | |
| TCS | Vol% | ≤0.025 | GC | |
| STC | Vol% | ≤0.025 | GC | |
| CO | ppm（v/v） | ≤1.0 | GC | |
| CO 2 | ppm（v/v） | ≤1.0 | GC | |
| N 2 | ppm（v/v） | ≤1.0 | GC | |
| O 2+Ar | ppm（v/v） | ≤1.0 | GC | |
| 金属离子检测要求 | 硼（B） | ppb | ≤5.0 | ICPMS |
| 铍（P） | ppb | ≤5.0 | ICPMS | |
| 砷（As） | ppb | ≤5.0 | ICPMS | |
| 铝（Al） | ppb | ≤5.0 | ICPMS | |
| 铬（Cr） | ppb | ≤5.0 | ICPMS | |
| 铁（Fe） | ppb | ≤5.0 | ICPMS | |
| 镍（Ni） | ppb | ≤5.0 | ICPMS |