兴泰硅材——4N二氯二氢硅SiH2Cl2质量标准
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项目
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检测项目 (Item)
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单位 (Unit)
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指标 (Indicator)
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分析方法 (Analytic Method)
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SiH2Cl2
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Vol%
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≥99.99
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—
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STC
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ppm（v/v）
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≤25
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GC
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TCS
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ppm（v/v）
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≤10
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GC
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MCS+HCl
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ppm（v/v）
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≤50
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GC
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N2
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ppm（v/v）
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≤1
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GC
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O2 + Ar
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ppm（v/v）
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≤1
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GC
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CO
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ppm（v/v）
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≤1
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GC
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H2
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ppm（v/v）
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≤10
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GC
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CO2
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ppm（v/v）
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≤1
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FT-IR
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CH4
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ppm（v/v）
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≤1
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ICPMS
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硼(B)+铝(Al)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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磷(P)+砷(As)
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ppb
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≤0.30
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ICPMS
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镓(Ga)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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锑(Sb)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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铟(In)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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钙(Ca)
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ppb
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≤1.00
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ICPMS
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铬(Cr)
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ppb
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≤1.00
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ICPMS
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铁(Fe)
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ppb
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≤5.00
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ICPMS
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钾(K)
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ppb
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≤1.00
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ICPMS
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钠(Na)
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ppb
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≤0.20
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ICPMS
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镍(Ni)
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ppb
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≤1.00
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ICPMS
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钼(Mo)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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锰(Mn)
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ppb
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≤0.20
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ICPMS
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铜(Cu)
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ppb
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≤0.20
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ICPMS
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镉(Cd)
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ppb
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≤0.50
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ICPMS
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钴(Co)
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ppb
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≤0.50
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ICPMS
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锌(Zn)
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ppb
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≤0.10
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ICPMS
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