| 项目 | 检测项目 (Item) | 单位 (Unit) | 指标 (Indicator) | 分析方法 (Analytic Method) |
|---|---|---|---|---|
| 组分要求 | SiH4 | Vol% | ≥99.9999 | — |
| H2 | ppm（v/v） | ＜20.0 | GC | |
| O2 + Ar | ppm（v/v） | ＜0.05 | GC | |
| N2 | ppm（v/v） | ＜0.5 | GC | |
| CH4 | ppm（v/v） | ＜0.05 | GC | |
| C2~C4 | ppm（v/v） | ＜0.1 | GC | |
| CO | ppm（v/v） | ＜0.05 | GC | |
| CO2 | ppm（v/v） | ＜0.05 | GC | |
|
氯硅烷 （SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4） |
ppm（v/v） | ＜0.1 | GC | |
| Si2H6 | ppm（v/v） | ＜0.3 | GC | |
| H2O | ppm（v/v） | ＜0.5 | Electrolysis | |
| 金属离子检测要求 | 铝（Al） | ppb | ＜0.2 | ICPMS |
| 锑（Sb） | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 砷（As） | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 硼（B） | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 镓（Ga） | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 磷（P） | ppb | ＜0.2 | ICPMS | |
| 铬（Cr）+铜（Cu）+铁（Fe）+镍（Ni）+锌（Zn） | ppb | ＜1.0 | ICPMS |